产品特点
1）净化程度深，不仅能除去O2等较活泼的杂质，而且还可以除去N2等惰性杂质，这是一般净化机办不到的；
2）本纯化器为双塔结构，一组工作，另一组备用，顶两台净化机使用；
3）工作温度较低，能耗少。
4）本系列纯化器配置有预净化塔，在合金吸附塔之前已经除去了较活泼的杂质，故极大地延长了合金吸附塔的使用寿命
技术参数
| 设备名称 |
设备型号 |
工作方式 |
备 注 |
| 惰性气体纯化器 |
CZA-4N |
半自动 |
Ar |
| FX□-Z |
半自动 |
□选Ar、He、Xe、Ke或Ne |
| 原气要求 Ar、He |
纯 度 |
≥99.99%一般瓶装纯氩，液氩 |
| 杂质要求 |
O2≤200PPm, H2O≤1000PPm，N2≤100PPm |
| 输出纯气 |
纯 度 |
≥99.9999% |
| 杂质含量 |
O2≤0.5PPm；N2≤0.5PPm；H2O≤1PPm(即露点≤－76℃)； CO+CO2≤0.1PPm；尘埃粒子数（≥0.3μm）3-5个／升 |
| 工作压力 |
0～1.0MPa |
| 处理气量 |
1～4Nm3/h |
| 备 注 |
可根据用户要求设计制造 |
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