产品特点
1)净化程度深,不仅能除去O2等较活泼的杂质,而且还可以除去N2等惰性杂质,这是一般净化机办不到的;
2)本纯化器为双塔结构,一组工作,另一组备用,顶两台净化机使用;
3)工作温度较低,能耗少。
4)本系列纯化器配置有预净化塔,在合金吸附塔之前已经除去了较活泼的杂质,故极大地延长了合金吸附塔的使用寿命
技术参数
设备名称 |
设备型号 |
工作方式 |
备 注 |
惰性气体纯化器 |
CZA-4N |
半自动 |
Ar |
FX□-Z |
半自动 |
□选Ar、He、Xe、Ke或Ne |
原气要求 Ar、He |
纯 度 |
≥99.99%一般瓶装纯氩,液氩 |
杂质要求 |
O2≤200PPm, H2O≤1000PPm,N2≤100PPm |
输出纯气 |
纯 度 |
≥99.9999% |
杂质含量 |
O2≤0.5PPm;N2≤0.5PPm;H2O≤1PPm(即露点≤-76℃); CO+CO2≤0.1PPm;尘埃粒子数(≥0.3μm)3-5个/升 |
工作压力 |
0~1.0MPa |
处理气量 |
1~4Nm3/h |
备 注 |
可根据用户要求设计制造 |
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